三安集成是国内第一的化合物半导体制造企业，业务覆盖第一至第三代半导体全产业链。第四代半导体氧化镓是制备超高耐压、超低损耗功率电子器件的关键材料，对发展战略性新兴产业和未来产业具有极其重要的作用。作为行业龙头，三安集成深入布局氧化镓，期望其在各领域替代第三代半导体。在半导体产业链中衬底、外延和芯片制造是制造半导体器件的三大环节。目前，国内氧化镓衬底和芯片制造技术已基本与西方国家并驾齐驱，但关键外延技术的落后导致氧化镓产业链的彻底断裂。

“芯起点”团队十年来专注研究氧化物半导体，尤其在外延领域积累了深厚的技术基础。在项目中，我们提出并实施了通过四步方案制备出适用于高耐压、低损耗功率器件的高质量氧化镓外延层，依次解决了外延过程中存在的设备、工艺、掺杂和生长速率四大难题。同时，依靠所制备的高质量外延层，团队还成功研制了高耐压肖特基二极管和高性能日盲紫外探测器，其性能均处于国际领先水平。“芯起点”团队为打破西方国家在氧化镓领域对我国的技术封锁，贡献了福州大学的一份力量。本项目不仅为三安集成解决了氧化镓产业化过程中的痛点问题，更为国内氧化镓产业提供了制备高质量外延层的全新思路和方案。