复旦大学未来信息创新学院研究员、博导，上海超精密光学制造工程技术研究中心主任，曾任香港理工大学超精密加工全国重点实验室科学主任、高级研究员。发表论文260余篇，获30余项授权发明专利。主要研究方向：智能光学制造及智能视觉系统、光学超精密加工全程工艺及优化、仿生功能型结构设计及制造、多光谱及自由曲面检测技术。

项目简介： 针对不同尺度和维度参量，从纳米级到米级，从复杂曲面面形到微纳缺陷特征，从高光金属到透明材质，开展了系列基于结构光、波前传感、阵列色散共焦、傅里叶叠层光场、时空联合成像等技术研究，研制了相应原理样机及系统装备。典型检测系统包括晶圆缺陷检测，系统采用可见光源及常规光学系统，实现了纳米特征尺度的探测。在新一代芯片缺陷检测领域具有成本可控、检测高效、超高灵敏度等优势。