传统透镜组需要多个透镜堆叠实现复杂波前调制,导致 光学模组体积庞大且制造成本高,严重制约了前沿应用对小 型化、轻量化、大工作带宽、低成本的核心需求。超表面 (metasurface)是一种由亚波长单元构成的二维阵列,超表 面具有较强的空间光场调控能力,可在约为波长的厚度内完 成对光场幅度、相位和偏振的调制,具有超轻薄、平面化、 低损耗和易集成等优点,被普遍认为是下一代新型的光学元 器件。利用电介质、金属等各类材料实现的超表面已被广泛 应用于波前重塑、特殊光束形成、成像、显示等,可服务于 智能感知、无人系统、媒体与交互、新型光通信领域。超表 面的加工工艺与标准互补金属氧化物半导体(CMOS)制造 工艺兼容,可以量产,具有低成本的优势。研发团队针对超 表面结构的特点自主开发了多套加工工艺,已攻克大深宽比 单元结构的工艺难点,最大深宽比可达22:1,处于国际领先 水平。研发团队经过多年积累已掌握高端光芯片的设计、制 造、调测等核心技术,其中独立设计、制造的光场调控芯片, 可以在8米外精准探测人体移动,弥补现有人体感应产品无 法探测人体径向移动的短板,解决现有智能家居产品人体探 测不灵敏的行业困难。研发团队已授权8项相关专利,专利 成本5190万元。
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