为满足我国光刻机、高档数控机床和智能生产线等高端制造装备国产化的迫切需要，重点研究精密直线电机系统关键基础理论与应用技术，攻克了精密直线电机系统中电机精细化设计、高品质推力调控驱动、强抗扰高精度运动控制策略等关键技术，取得了系列原创性成果，研制出高端装备精密直线电机系统。