项目背景：硅烷，又称甲硅烷，是一种应用最广、影响最大的电子特气。 在半导体微电子行业中，硅烷可用于制备各种微电子薄膜，例如微晶、氧化硅、 单晶膜、金属硅化物等，还可用于半导体器件（碳化硅、砷化镓等）和量子阱 材料的制备。由于硅烷制造的金属硅化物，具有纯度高和可精细调控的特点， 使得它成为许多其他硅源无法取代的重要电子特种气体。氯硅烷歧化法是以三 氯氢硅为原料，通过歧化法得到硅烷，同时副产四氯化硅。因为四氯化硅经过 氢化后又可转化为三氯氢硅，作为原料使用，所以整个工艺流程简单，且无废 物产生，属于绿色工艺，已成为当前硅烷制备的主流工艺。然而传统的氯硅法 制备硅烷采用的是固定床工艺，由于歧化反应平衡转化率偏低，致使未反应原 料大量循环，能耗偏高。 创新点：本项目开发了催化精馏合成硅烷电子特气工艺，实现了三氯氢硅 转化率100%、硅烷纯度＞99.9999%，与传统工艺相比，催化精馏工艺占地节 13 省约30%，建设投资约节省20%，运行成本约节省4500元/吨硅烷产品，形成 了具有自主知识产权的硅烷电子特气生产技术，解决了金属离子含量高、制备 工艺流程复杂等问题。 应用场景：本项目技术终端产品为电子级硅烷，可适用于光伏行业、显示 面板行业、集成电路行业和硅碳负极行业。