宽光谱、低电压高增益的飞秒激光改性黑硅光电探测器

南开大学

更新时间:2024-03-25

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所属领域

装备制造

项目类型

制造业

项目年份

2024

项目状态

可产业化

合作方式

其它

项目简介

飞秒激光辐照可同时实现硅材料表面微锥结构和表层过饱和掺杂,是近些年对硅材料进行改性的热门技术,因辐照后的硅从肉眼观察呈几乎无反射的黑色,因此被称为“飞秒激光改性黑硅”(与其它技术手段制备的黑硅性质不同)。过饱和掺杂有效地拓展了硅材料在近红外波段的响应范围,使其具有宽光谱高吸收的特性。黑硅的这种优异性能为高性能硅基光电器件的制备提供了基础,使其在红外制导,遥感,人工智能,无人驾驶,军事国防等诸多领域展现出广泛应用前景。

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